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電子部品生産機器

ウェーハ自動移載機
ウェーハ自動移載機

本装置はφ300mmウェーハをカセットからカセットへ安全に移載します。移載前に装置内のマッピングセンサによりカセット内のウェーハ有無検知やクロススロット検知も行います。
ブラシ洗浄機
ブラシ洗浄機

6カセットの満杯カセットにより、自動供給を2列のラインへ投入して、ブラシと純水による自動洗浄を行い、クリーンな熱風により乾燥を行い、空カセットへ自動収納する装置です。
レジスト塗布機
レジスト塗布機
 
液晶注入機
液晶注入機

治具カセットに入った液晶パネルを一定時間真空引きした後、注入皿に入った液晶を上昇させて、液晶パネルの注入口と接触させて、大気開放することにより、パネル内に液晶を注入させる装置です。
ラッピング研磨機
ラッピング研磨機
エッチング装置
エッチング装置


その他
露光機
露光機
冷蔵庫ガスケット注入機
冷蔵庫ガスケット注入機

今まで手作業にて挿入していた冷蔵庫の扉のガスケットをロボットにて自動挿入する装置です。

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マトヤ技研工業株式会社

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